เครื่องเคลือบ PVD เป็นเครื่องอุปกรณ์อุตสาหกรรมที่ซับซ้อนที่ใช้ในการใช้เคลือบผนังบางกับพื้นฐานต่าง ๆ ผ่านกระบวนการที่เรียกว่าการฝากควายทางกายภาพวัสดุถูกระเหยจากแหล่งแข็งในห้องว่าง แล้วฝากลงบนวัตถุเป้าหมายเทคนิค PVD ที่ใช้กันทั่วไปรวมถึงการพ่นและการระเหย

เครื่องประกอบด้วยส่วนประกอบสําคัญหลายส่วน ห้องระบายความว่างสูงเป็นสิ่งจําเป็น เพื่อป้องกันการปนเปื้อนและอนุญาตให้อนุภาคที่ระเหยได้เดินทางโดยไม่รบกวนเช่นเป้าหมายกระจายหรือเรือระเหย, จับวัสดุการเคลือบ. แหล่งไฟฟ้า, มักจะเป็นแหล่งไฟฟ้า DC หรือ RF ความดันสูง, ให้พลังงานที่จําเป็นในการปั๊มวัสดุ. ผู้ถือสับสราทรักษาวัสดุที่จะเคลือบ,และพวกเขาสามารถหมุนหรือเคลื่อนไหวเพื่อให้แน่ใจว่าการครอบคลุมแบบเดียวกันระบบควบคุมที่ซอฟฟิสติกส์ สามารถควบคุมปริมาตรต่างๆ เช่น ความดัน อุณหภูมิ และอัตราการฝัง