เครื่องเคลือบ PVD เป็นอุปกรณ์อุตสาหกรรมที่ซับซ้อนที่ใช้ในการฝากแผ่นบางบนพื้นฐานต่าง ๆ ผ่านกระบวนการฝากควายทางกายภาพมันทํางานในห้องว่างสูง ที่วัสดุถูกระเหยจากแหล่งที่แข็งแรง และจากนั้นดันเป็นผลิตภัณฑ์เป้าเทคนิคสําคัญประกอบด้วยการกระจาย, การระเหย, และการเคลือบไอออน, แต่ละตัวถูกปรับปรุงมาสําหรับการใช้งานเฉพาะอย่างยิ่ง เช่นการเพิ่มความทนทานต่อการสวม, การปรับปรุงการป้องกันการกัดกร่อน,หรือให้การประดับ.

กระบวนการเคลือบจะเริ่มต้นด้วยการวางสับสราทภายในห้องว่าง ภายในห้องนั้นจะถอนหายเพื่อกําจัดสารปนเปื้อน ก่อนนําก๊าซไร้สภาพ เช่น อาร์กอนพลาสมาความดันสูงถูกผลิต, ทําให้ไอออนระเบิดวัสดุเป้าหมาย, ปัดออกอะตอมที่เดินทางและติดกับพื้นฐาน. สําหรับการระเหย, วัสดุแหล่งที่ร้อนจนมันระเหยสร้างฟิล์มบางเมื่อดัน.