PVD ย่อมาจากการสะสมไอทางกายภาพซึ่งเรียกอีกอย่างว่าการชุบสูญญากาศรวมถึงการอาร์คหลายแบบแมกนีตรอนสปัตเตอริงการระเหยด้วยความร้อน
ฟิล์ม PVD สามารถใช้เพื่อการตกแต่ง, การทำงานและการใช้แสงเช่นเฟอร์นิเจอร์สีทอง, การเจาะที่มีความแข็งสูงและกระจก low-e
เป็นกระบวนการสีเขียวที่ไม่มีก๊าซเสียน้ำเสียและวัสดุเหลือใช้
ขณะนี้มีผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์เพิ่มมากขึ้นโดยใช้เทคโนโลยี PVD เช่นหน้าจอสัมผัสโทรศัพท์มือถือเลนส์กล้อง ฯลฯ